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感应耦合等离子体刻蚀机（JLU-KC20129）采购公告

发布时间：2020/11/16 地区：吉林

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所属地区	吉林
招标编号	****** [登陆后查看]	截止日期	****** [登陆后查看]
招标代理	******* [登陆后查看]
招标业主	吉*** [登陆后查看]

公告摘要

项目名称	感应耦合等离子体刻蚀机	项目编号	JLU-KC * 9
公告开始日期	***	公告截止日期	***
采购单位	(略)	付款方式	预付 * %，货到验收合格办理相关手续后付 * %。
联系人	中标后在我参与的项目中查看	联系电话	中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求	成交后 * 个工作日内	到货时间要求	收到预付款后 * 个工作日内
预算	无
收货地址	(略) 南岭校区仿生楼 *
供应商资质要求	符合《政府采购法》第 * 十 * 条规定的供应商基本条件

采购商品	采购数量	计量单位	所属分类
感应耦合等离子体刻蚀机	1	台	电工器材

品牌	感应耦合等离子体刻蚀机
型号	ICP- *
品牌2	无
型号	无
品牌3	无
型号	无
预算	无
技术参数及配置要求	1.刻蚀室1.1耐氟基气体腐蚀真空刻蚀腔体1.2刻蚀腔体尺寸：？ * mmH mm，铝质桶形卧式结构，上盖可自动开闭1.3刻蚀室系统漏率：5× * -7Pa.l/s1.4刻蚀室极限真空度：≤5× * -1Pa1.5刻蚀室静态升压：系统停泵关机后 * 小时后，真空度<5Pa1.6包含腔壁冷却1.7刻蚀均匀性：≤±5%(？6英寸）1.8刻蚀距离自动调节范围： * mm- * mm，调节精度：1mm2. Load-lock系统2.1含 Load-lock 室，8英寸矩形真空锁，双片缓冲机械手，线性导向驱动机构，样品顶升机构1套，真空计集成到 * 高两低真空测量系统里2.2 Load-lock 腔体尺寸：L * mmW mmH mm，铝质卧式结构，上盖自动开闭2.3 Load-lock室最大运送样品尺寸：？6英寸2.4 Load-lock 室极限真空度：≤6.7× * -1Pa3.气泵3.1包含耐氟基气体腐蚀分子泵1台，抽速 * L/S3.2包含耐氟基气体腐蚀直连旋片式真空泵组1台，抽速8L/s3.3包含超高真空电动调节插板阀1台3.4抽速:系统充干燥N2解除真空，短时暴露大气后抽气抽至5× * -3Pa时间小于 * min4.控制方式：基于PLC及工控机的全自动、半自动控制方式，具体包括：4.1 真空测量系统1套， * 高两低4.2 自动压力控制系统1套，含进口薄膜真空计4.3自动控制系统1套，含 PLC 模块、工控机、显示器、控制软件等4.4自动压力控制系统4.5安全报警系统5射频5.1射频电源及自动匹配器： * W，1套； * W，1套5.2 射频耦合电极及射频引入器1套5.3 偏压电极及射频引入器1套5.4内置射频同步器5.5射频阴极尺寸（最大样品尺寸）：？ * mm6电源配置6.1耦合电极（上电极）： * . * MHz， * W自动匹配6.2偏压电极（下电极）： * . * MHz， * W自动匹配7.气体配置7.1 SF6、CHF3、CF4、 * 、Ar、N2、C4F8 (视具体刻蚀工艺）8.质量流量控制器：6台9.工艺气路：7条 * .水冷工作台温度：< * °C
售后服务	质保期: * 年;

报价地址：https:/ ***

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