序号
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技术要求内容
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评分等级
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是否需要附件说明
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1
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(略) 分采用PLC 计算机双保险方式,即使 (略) 过程中死机情况下不会影响设 (略) 。所有参数及数据都存储在PLC里面,计算机重启即可。
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非常重要
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是
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2
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具备晶体生长自动控制系统:籽晶接种完成后实现全自动控制、具备等径段故障续接功能、具备故障 (略) 理功能、具备参数设置和修改功能、数据记录、用户分级等
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非常重要
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是
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3
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加热方式:1)采用石墨电阻辐射式或高频感应加热;2)配套变压器容量 * kva;
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重要
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否
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4
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加热温度范围: * ℃;
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非常重要
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是
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5
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熔化硅材料数量为6KG;
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非常重要
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是
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6
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配套真空机组要求:机械泵 1)冷炉极限真空度为5Pa2)热炉极限真空度为 * Pa3)系统漏率:≤1х * -9pa/s(氦检漏)
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非常重要
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是
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7
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运转速度1)籽晶杆拉速:0.1毫米/H2)籽晶杆转速:0~ * 转/分3)爬行:≤0. * 毫米4)最高速度: * 毫米/分,籽晶 (略) 程1) (略) 程: * 毫米2) (略) 程: * 毫米。
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重要
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否
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8
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冷却装置1)采用直接水冷、分流式2)进水压力≤2公斤3)配备冷水塔
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重要
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否
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9
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(略) 件的几个主要尺寸:1)炉膛内径:直径 * mm2)炉膛高度: * mm 3) (略) 距: * mm4)电极板距炉底不小距离: * mm
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非常重要
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是
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*
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工作气氛:氩气/氮气(纯度≥ * . * %)
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重要
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否
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*
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控制方式:上称重1)称重系统:< * KG2)精度:0. * 克
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非常重要
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是
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*
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软件系统1)人工手动方式完成籽晶下种后2)转到设备自动控制3)设备全自动控制完成晶体后续的生长工艺,此过程无需人工干预。
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重要
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否
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*
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UPS电源1)可供 (略) * 分钟2)不包含加热及泵组系统,包含坩埚和保温材料。
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重要
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否
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*
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单晶炉要求设备 (略) 分、 (略) 分、 (略) 分、 (略) 分、提拉 (略) 分、 (略) 分、 (略) 分都可实现自动控制,操作参数可通过显示屏控制。要求设备具有各种连锁及安全保护措施,如水温报警、压力防爆阀、过流报警等。
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重要
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否
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*
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炉膛采用立式双层水冷不锈钢结构,下部为椭圆封口 (略) 分连为 * 体。上部与上称重系统、 (略) 分用波纹管密封连接。 (略) 开有电极进出法兰盘,在法兰盘的中轴线上配有电极进出孔。电极进口有电极连线接头,电极与法兰盘之间密封而且绝缘。
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重要
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否
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*
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要求过滤系统由油过滤器、活性 (略) 分组成。保证真空泵的使用寿命同时不污染环境。
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重要
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否
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*
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采用计算机控制电磁阀控制气动阀来自动实现气路的开启和关闭。气路管道及各 (略) 必须采用VCR接口,保证气路的密封性能良好。要求系统采用 (略) 封性和抗腐蚀性的高纯气路系统。
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重要
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否
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*
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提拉杆可以上下移动和旋转,需采用高精度直线运动导轨及精密滚珠丝杆,由交流伺服电机驱动。要求坩埚杆移动速率分快慢两档,档内连续可调。要求提拉杆可以自转,连续可调。
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重要
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否
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*
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采用感应加热系统,要求启动性能极好,整体性能稳定,保护功能可靠,并有故障自诊断系统。要求采用全数字化集成电路控制线路,单板结构。易于实现与计算机的连接通讯。测温系统:采用进口新型数字程序调节仪,采用 (略) 理器,指示精度为±0.1%,控制切换周期为0.1秒。
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重要
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否
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*
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水冷架的总进水管上装有电接点压力表,用于指示与监控冷却水的进水压力和欠压报警
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重要
|
否
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*
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系统具有多种故障报警功能及报警后的安全联锁装置,并能快速诊断。确保 (略) 。 超温报警:当炉温超过设定值时,此时面板上的超温报警灯亮、讯响,提醒操作人员。水流报警保护:每 * 水路均有流量不足报警装置与水流继电 (略) 报警。当断流或流量不足时、均有灯亮、讯响,并且自动切断电源。反应室超压保护:当发生反应室超压时均有灯亮、讯响警报,并自动切断供气。气体压力低保护:当气体压力低时灯亮、讯响警报。
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重要
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否
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